299 __ $aStraturi subţiri : metode de obţinere
955 __ $a1
200 __ $aStraturi subţiri $emetode de obţinere $fGabriel Lazăr, Marius Stamate $bCarte tipărită
700 __ $aLAZĂR, GABRIEL
701 __ $aStamate, Marius
010 __ $a9737167058
035 __ $a53/L32
035 __ $aC.III.13339
675 __ $a621:539.23
675 __ $a621.79
686 __ $a50/54
606 __ $aFizică
606 __ $aEfect pelicular (fizică)
606 __ $aStraturi subţiri
606 __ $aSuprafaţă (tehnologie)
101 __ $arum
102 __ $aRomania
210 __ $aIași $cPIM $d2007
215 __ $a134 p. $cfig.
300 __ $aBibliogr. p. 133
330 __ $aCuprins Cap.l. Introducere în tehnica vidului7 1.1.Pompe de vid mecanice10 1.2.Pompe de difuzie16 1.3.Pompe turbomoleculare19 1.4.Pompe ionice22 1.5.Pompe criogenice25 1.6.Instrumente de măsurare a vidului27 Cap .2. Obţinerea straturilor subţiri34 2.1.Noţiuni generale despre straturile subţiri39 2.2.Obţinerea straturilor subţiri prin evaporare42 2.2.1.Evaporarea prin încălzire rezistivă sau inductivă50 2.2.2.Evaporarea prin bombardament electronic56 2.3. Obţinerea straturilor subţiri prin pulverizare60 2.3.1. Pulverizarea în plasmă de curent continuu66 2.3.2. Pulverizarea în plasmă de radiofrecvenţă70 2.3.3.Pulverizarea în sistem magnetron72 2.3.4.Tipuri particidare de instalaţii tip magnetron78 2.4.Obţinerea straturilor subţiri prin depunere în fascicol laser 83 2.5.Obţinerea straturilor subţiri prin epitaxie în fascicol92 molecular (MBE) 2.6.Obţinerea straturilor subţiri prin depunere în arc98 2.7.Obţinerea straturilor subţiri prin placareionică105 2.8.Obţinerea straturilor subţiri prin depunere chimică din 109 stare de vapori - CVD (Chemical Vapor Deposition) 2.8.1.Sistemul de transport al gazelor113 2.8.2.Tipuri de reacţii chimice115 2.8.3.Tipuri de reactoriH7 2.8.4.Sistemul de evacuare a gazelor118 2.8.5.CVD la presiune atmosferică şi la joasă presiuneH9 2.8.6.Activarea fotonică a depunerii121 2.8.7.Activarea în plasmă a depunerii - PECVDl22 3. Instalaţie de depunere mixtă magnetron-PECVD a125 carbonului amorf Bibliografie133